کاوش موضوع لایه نشانی
صفحه اصلی
لایه نشانی
رسوب لیزری پالسی یک تکنیک انباشت بخار فیزیکی است که یک تیغه لیزری، پالسی با قدرت زیاد در درون اتاق خلأ روی ماده ای که رسوب کرده است، متمرکز میشود. این ماده از یک هدف در یک شعله پلاسمایی، که آن را به عنوان یک لایه نازک تهنشین میکند تبخیر شده است. (مثل یک ویفر سیلیکونی که به هدف میخورد)
این پروسه میتواند در خلاء فوق-بالا اتفاق بیفتد یا در حضور یک گاز پس زمینه مثل اکسیژن، که معمولاً وقتی اکسید رسوبی کاملاً لایههای رسوبی را اکسیژنه میکند، استفاده میشود. درحالی که جزئیات اولیه نسبت به بسیاری دیگر از تکنیکهای رسوبگیری سادهتر است، آثار فیزیکی برهمکنش لیزری به نسبت پیچیدگی بالاتری دارد. وقتی پالس لیزر توسط هدف جذب میشود ابتدا انرژی به تحریک الکترونیکی و سپس به انرژی گرمایی، شیمیایی و مکانیکی که در نتیجه تبخیر (تصاعد)، فرسایش، تبدیل پلاسمایی و حتی پوسته پوسته سازی است، تبدیل میشود.
انواع اهداف پرتابشونده که در خلأ اطراف شکل یک شعله شامل انواع انرژی زا شامل اتم، مولکول، الکترون، یون، خوشه، ذرات و گلبولهای مذاب رسوب شدن معمولاً روی لایه داغ گسترش مییابند.... بیشتر در ویکی پدیا